法律解析:
根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um范围内呈累积分布的粒子群。
根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
【法律依据】:
洁净室及相关控制环境国际标准(ISO14644-1)
2.2 悬浮粒子
2.2.1 粒子 用于空气洁净度分级的固体或液体物,其粒径阈值(低限) 范围在0.1μm-0.5μm,并呈累积分布。
2.2.2 粒径 由给定的粒径测定仪响应出(与被测粒子作出的响应当量)的球体的直径。 注离散粒子计数和光散射仪器使用当量光学直径。
2.2.3 粒子浓度 单位体积空气中的单个粒子数。
2.2.4 粒径分布 作为粒径函数的粒子浓度之累积分布。
2.2.5 超微粒子 当量直径小于0.1μm的粒子。
2.2.6 大粒子 当量直径大于0.5μm的粒子
2.2.7 纤维 长宽比等于或大于10的粒子。